產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewW1三維形貌儀光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式,，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,；

(4)分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用領(lǐng)域

在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車(chē)零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,，對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例：

SuperViewW1三維形貌儀光學(xué)輪廓儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI,，單一模式即可適用于從平面到弧面,、超光滑到粗糙等各種表面類型,，其3D重建算法，自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),，在硬件系統(tǒng)的配合測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單,。它具有測(cè)量精度高,、操作便捷,、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè),。其特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解,。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。